关于第9、第10代液晶制造装置的畅想

    第8代液晶制造装置对5m²以上的大型底板从工艺、均匀性、处理量、大型设备加工等方面运用了规模扩大（Scale Up）技术，并克服了装置运输以及现场组装等难题。同时还确保了与第7代装置相同的工艺性能。这一切已通过第8代生产线的运转得到了验证。而业内人士关注的面向未来更大的第9代、第10代液晶面板制造装置，各装置厂商均表示，在第8代装置中开发出的规模扩大技术，可以支持3m×3m的第10代装置，在技术上是没有问题的。不过，到了第8代以后，基本加工设备、材料、装置运输方面的限制等将大大超过以前而成为一个大问题，这将成为导致装置制造成本增高的主要因素。此前底板扩大带来的单位面积生产效率的提高，在第8代以后的各代装置上有可能也无法实现。而且，受将来第9、第10代装置市场规模的影响，甚至无法收回开发费用的情况也是可能发生的。因此，从液晶面板制造装置业务的角度来看，生产第9、第10代装置是非常冒险的事情。因此很多业内人士认为目前应将注意力集中在降低面板制造成本，在现有尺寸下提高生产效率方面。

更高清晰度的显示可能性

 
提高第8代液晶面板生产效率的新型掩膜激光绘制装置

    瑞典Micronic Laser Systems AB将于2007年投产生产能力比原来高25%的TFT液晶掩膜激光绘制装置“LRS15000-TFT2 HT”。支持第8至9代液晶面板生产线，可绘制最大为1300mm×1500mm的掩膜。在绘制第8代液晶使用的1220mm×1400mm掩膜时，之前的老式产品需要约30个小时。而此次的新产品可在不降低绘制精度的情况下将绘制时间缩短至24小时以内。这是通过提高绘制激光的扫描速度及数据处理速度实现的。为了提高扫描速度，通过在软、硬件两方面的改善，减少了随速度提高产生的扫描轴振动。数据处理速度的提高是通过增加配置板卡的数量实现的。此外，该公司还将以选配方式向用户提供配备“Z补偿（Z-Correction）”掩膜绘制精度补偿功能的控制软件。其是通过座标分析在绘制前对掩膜底板的细微凹凸及粒子造成的绘制精度降低进行补偿的。

(责任编辑：刘伟)